紫外臭氧清洗机的清洗过程提供一种简单，经济，快速获得超洁净的表面，去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗机清洗过程几分钟就可以啦。

　　使用紫外臭氧清洗机进行作业时所用的重要部件包括管道清洗喷头，利用后射喷嘴产生的射流剥离管壁上的污垢的同时产生向前的推力和向后的回流来推动喷头前进进行清除工作。在清洗过程中，我们需要特别注意喷头的正常工作，以免造成人员或者机器的损伤。

　　紫外臭氧清洗机常规检查的一些关键点：

　　喷嘴无污染物或堵塞。如果有喷孔阻塞，水流和水压将受到阻碍，从而影响清 洗机的性能。紫外臭氧清洗机的水在清洗周期中是再循环的，其中携带的污染物可能停留在喷淋臂内。喷淋臂需定期清洁。

　　喷淋臂上的出水孔朝着目标表面。有的清洗机的喷淋臂在使用过程中松动旋转，导致喷淋无法朝向器械。许多紫外臭氧清洗机喷淋臂两边都有孔；这些孔可以调节朝上或朝下。

　　喷淋臂齐全：有的医院的喷淋臂全部缺失但机器仍在使用。如果喷淋臂缺失清洗机无法正常运转，因为水压和喷水会大大削弱机械清洗作用。如果喷淋臂缺失则不得使用该清洗机。

　　喷淋臂旋转*：测试喷淋臂确保旋转顺滑均匀。

　　紫外臭氧清洗机底部排水筛无杂物：紫外臭氧清洗机底部的排水筛会留滞来自器械组的污染物。应至少每天取下筛网并清洗，或根据使用次数增加清洗频率。阻塞的筛网会阻碍水流和排水，从而影响紫外臭氧清洗机的清洗效力。

　　观察紫外臭氧清洗机总体情况：舱体内表面应清洁，无污点、水垢及其它污染物堆积。这些都可能影响紫外臭氧清洗机的性能和清洗效果。污点和水垢可能表明有水质、化学品浓度过高等问题。确保任何适用的垫圈、密封圈、记录器都处于正常状态。

　　检查舱体内照明灯具工作正常：紫外臭氧清洗机拥有视窗和内部照明灯具允许在循环过程中观察清洗机的性能。循环过程中需观察喷淋臂是否正常运行，无器械/托盘阻碍清洗机的性能。观察水流，确保无泡沫过多等迹象。